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微波等離子體化學(xué)氣相沉積法（MPCVD）是指在真空腔體中通入高純度的氫氣（H2）和甲烷氣體（CH4），氫氣在微波的作用下產(chǎn)生等離子體火球，甲烷氣體在等離子作用下打開(kāi)化學(xué)鍵變成了游離的碳原子（C）和氫原子（H），游離的碳原子在強(qiáng)大能量的等離子作用下逐步會(huì)沉積在腔體底部的金剛石種子上，使種子逐步長(zhǎng)厚最終形成與天然金剛石結(jié)構(gòu)成分完全一樣的CVD金剛石。